結合相關理論得知，三次元測量儀誤差補償方法主要有三種，即溫度補償法、軟件修正補償法、測量力誤差補償法，對此下文將進行相關分析。
1、溫度補償法
溫度是引起三次元測量儀誤差的重要因素，且在此因素條件下，靜態誤差與動態誤差可能同時存在，所以在測量當中采用溫度補償法是消除測量誤差的重要舉措。在相關理論當中，溫度補償法分為三個部分，即標溫下結構參數標定、溫度實時采集、誤差系數補償，下文將對三個步驟的具體內容進行分析。
(1)標溫下結構參數標定。在溫度引起的靜態誤差當中，需要先確認正常溫度條件下，設備最低誤差參數，即三次元測量儀未受溫度影響之前，其所有結構的參數數值，確認之后即可得到一個標準的對比參數集，主要用于之后的誤差值對比當中。
(2)溫度實時采集。在完成上述參數標定工作之后，需要對當前存在溫度誤差的三次元測量儀。依照標定參數集中的每個參數項進行實際測量、采集，以得到設備當前的參數集合。之后將參數標定結果與實際采集結果相互對比，即可得到當前三次元測量儀誤差與標準參數之間的差距，以供后續補償調整。
(3)誤差系數補償。根據上述溫度實時采集與標定參數的對比結果，可以采用溫度熱變形誤差公式來進行補償，在補償過程當中，要將對比得出的三次元測量儀實際誤差與參數誤差的比值代入公式當中，通過數值補償將設備參數調整到與標定參數一致的水平下即可。
此外，介于上述分析可見，溫度補償法的應用相對復雜，且需要進行多項對比，那么為了保障該方法應用順利，建議采用仿真軟件來模擬標定參數設備與誤差設備，以此得到兩個模型，借助模型的直觀性可以簡化其中計算過程。
2、軟件修正補償法
軟件修正補償法是一種針對三次元測量儀動態誤差來進行補償的方法，在實際應用當中十分常見。具體應用上，介于上述動態誤差的溫度、環境、人工分析結果可見，動態誤差可以被分為兩個類型，這兩個類型被稱為實時性動態誤差、非實時性動態誤差，那么針對實時性動態誤差，在軟件修正補償法當中，直接對現場誤差數據進行調整，使其與標準參數一致即可;針對非實時性誤差，則利用采集系統來獲得設備當前誤差系數，再結合標準系數進行矯正即可。
3、測量力誤差補償法
在三次元測量儀應用當中，如果其測量力存在異常容易導致側桿彎曲，相應引起誤差現象，此類誤差屬于非實時性動態誤差，那么針對此類誤差，除了上述提到的軟件修正補償法以外，還可以采用測量力誤差補償法來進行調整。具體應用當中，首先利用仿真軟件(或其他建模軟件)來建立三次元測量儀的測頭、測桿結構模型，其次將當前測量力輸入模型當中，在看測桿是否彎曲、彎曲程度，如果存在彎曲，則減弱模型中的測量力，直至測桿不彎曲，且滿足測量需求位置，最終將模型測量力參數輸入三次元測量儀當中即可起到應有效果。
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